2023年末，三星与ASML签署了一项价值1万亿韩元的协议，双方将在韩国京畿道东滩投资建设半导体芯片研究设施，并在那里共同努力改进EUV光刻制造技术。与此同时，三星还获得了High-NA EUV光刻设备技术的优先权。
据TrendForce报道，ASML现在似乎放弃了与三星的合作建设半导体芯片研究设施，开始将早期购买的土地出售。据了解，ASML在去年购入了6块土地，总面积达到了约19000平方米，其中2块已经出售，另外2块在挂牌出售。至于具体什么原因，或者双方计划有什么改变，暂时还不清楚。
此举引发了外界对ASML与三星合作伙伴关系的质疑，不过有消息称，双方正在寻求更有效的替代方案，比如寻找新地点另外建造研究设施，可能位于华城郊外，甚至可能选择在三星的园区内。由于韩国是ASML的关键市场质疑，随着三星推进先进制程节点的开发，双方应该会继续保持密切合作。根据ASML的报告，韩国成为了其2025年第一季度最大的市场，占总收入的40%，高于2024年第四季度的25%。
三星已经在上月初，在其华城园区引入了首台ASML制造的High-NA EUV光刻机，型号为“TWINSCAN EXE:5000”，主要用于技术研发工作，预计2025年年中开始使用。三星也成为了英特尔（2023年末）和台积电（2024年第三季度）之后，第三家安装High-NA EUV光刻机的半导体制造商。